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深圳大學(xué)四腔室PECVD意向公開
所屬地區(qū)：廣東 發(fā)布日期：2024-10-01| 所屬地區(qū)： | 廣東 - 深圳 | 招標(biāo)業(yè)主： | 略 登錄查看 | 信息類型： | 招標(biāo)預(yù)告 |
| 更新時間： | 2024/10/01 | 招標(biāo)代理： | 略 登錄查看 | 截止時間： | 略 登錄查看 |
深圳大學(xué)四腔室PECVD意向公開采購單位：（略）
項(xiàng)目名稱：（略）
預(yù)算金額（元）:1,800,000.000
采購品目:核技術(shù)應(yīng)用設(shè)備
采購需求概況:用來制備高純鍺單晶、硅單晶深槽中子探測器時，在表面沉積多種介質(zhì)膜。為了防止交叉污染，需要配備四腔室；分別完成本征薄膜、SiNx/SiONx/SiO2膜、摻碳薄膜和n型薄膜的生長。具備2英寸、4英寸和6英寸處理能力。
預(yù)計(jì)采購時間:2024-12
聯(lián)系人：（略）
聯(lián)系電話：（略）
備注:無
本次公開的采購意向是本單位：（略）
項(xiàng)目名稱：（略）
預(yù)算金額（元）:1,800,000.000
采購品目:核技術(shù)應(yīng)用設(shè)備
采購需求概況:用來制備高純鍺單晶、硅單晶深槽中子探測器時，在表面沉積多種介質(zhì)膜。為了防止交叉污染，需要配備四腔室；分別完成本征薄膜、SiNx/SiONx/SiO2膜、摻碳薄膜和n型薄膜的生長。具備2英寸、4英寸和6英寸處理能力。
預(yù)計(jì)采購時間:2024-12
聯(lián)系人：（略）
聯(lián)系電話：（略）
備注:無
本次公開的采購意向是本單位：（略）
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