氮化硅鍍膜機(jī)（重新招標(biāo)）（略）：（略）JT21401.招標(biāo)條件本招標(biāo)項(xiàng)目氮化硅鍍膜機(jī)（重新招標(biāo)）（略），招標(biāo)項(xiàng)目資金來(lái)自自籌資金，出資比例為100%。該項(xiàng)目已具備
招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)氮化硅鍍膜機(jī)進(jìn)行公開(kāi)招標(biāo)。
2.項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍2.1項(xiàng)目名稱(chēng)：（略）
氮化硅鍍膜機(jī)具備自動(dòng)傳送晶圓及連續(xù)成膜功能，主要包括真空腔室、（略）、烘烤裝置、（略）、（略）、（略）、晶圓冷
（略）、（略）、（略）等模塊。本設(shè)備為全新的自動(dòng)設(shè)備。
2.4技術(shù)要求：具體詳見(jiàn)招標(biāo)文件第五章供貨要求。
2.5交貨地點(diǎn)：（略）
2.6交貨時(shí)間：合同生效后150天。
調(diào)機(jī)時(shí)間：不超過(guò)15個(gè)工作日（二次配完成后開(kāi)始計(jì)算）。
3.投標(biāo)人資格要求本次招標(biāo)實(shí)行資格后審，投標(biāo)人應(yīng)滿(mǎn)足下列資格條件：3.1投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位：（略）
3.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書(shū)。
3.3從從2022年至今，投標(biāo)機(jī)型或同系列機(jī)型有年至今，投標(biāo)機(jī)型或同系列機(jī)型有POI或或LN或或LT晶圓上制備晶圓上制備SiNx膜的應(yīng)用案例。須提供設(shè)備采購(gòu)合同（所供產(chǎn)品須為此次投標(biāo)產(chǎn)品制造廠商出品、合同首頁(yè)和蓋章頁(yè)必須提供）、驗(yàn)收證明和用戶(hù)單位：（略）
3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理：（略）
4.招標(biāo)文件的獲取：（略）
5.投標(biāo)文件的遞交5.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（同投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為：2024年10月21日14時(shí)00分（北京時(shí)間，下同），遞交投標(biāo)文件時(shí)間：2024年10月21日13時(shí)30分－2024年10月21日14時(shí)00分。地點(diǎn)：（略）
6.發(fā)布公告的媒介本次招標(biāo)公告在“（略）（（略））、（略）（（略））”上發(fā)布。
7.聯(lián)系方式：（略）
聯(lián)系人：（略）